Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния
Терехов, В. А., Теруков, Е. И., Ундалов, Ю. К., Паринова, Е. В., Спирин, Д. Е., Середин, П. В., Минаков, Д. А., Домашевская, Э.П.
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiO[x] : H с нанокластерами кремния, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 2. - С. 212-217 .-
Терехов_состав