Моделирование переходных слоев на границах тонкоплeночных покрытий при эллипсометрических измерениях
Тихий, А. А., Николаенко, Ю. М., Корнеевец, А. С., Свиридова, Е. А., Жихарева, Ю. И., Жихарев, И. В.
Моделирование переходных слоев на границах тонкоплeночных покрытий при эллипсометрических измерениях, Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Корнеевец А. С. [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2019 .-
Т. 86, № 6. - С. 942-946 .-