| Индекс УДК |
539.2 535.33 |
|
Моделирование переходных слоев на границах тонкоплeночных покрытий при эллипсометрических измерениях Тихий А. А., Николаенко Ю. М., Корнеевец А. С. [и др.] |
|
| Аннотация | Рассматриваются практические аспекты моделирования однослойных тонкопленочных покрытий при интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Сформулированы ограничения, накладываемые на количество и параметры слоев модели, толщиной скин-слоя и погрешностью измерений. Представленные теоретические заключения экспериментально подтверждены исследованиями тонких пленок состава La[0. 7]Sr[0. 3] MnO[3] и In[2]O[3]. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 86, № 6. - С. 942-946 |
