Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида титана из тетраметоксититана и воды
Алехин, А. П., Маркеев, А. М., Овчинников, Д. В., Соловьев, А. А., Токнова, В. Ф.
Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида титана из тетраметоксититана и воды, [Текст]
Журнал прикладной химии, 2013, Т. 86, № 3. - С. 353-359