| Индекс УДК | 544.227 |
| Автор | Алехин, А. П. |
| Заглавие | Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида титана из тетраметоксититана и воды |
| Физич. носитель | Текст |
| Ключевые слова | атомно-слоевое осаждение |
| Другие авторы | Маркеев, А. М. |
| Название источника | Журнал прикладной химии |
| Место и дата издания | 2013 |
| Прочая информация | Т. 86, № 6. - С. 874-880 |
