Поиск

Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида титана из тетраметоксититана и воды

Авторы: Алехин, А. П. Маркеев, А. М. Овчинников, Д. В. Соловьев, А. А. Токнова, В. Ф.
Подробная информация
Индекс УДК 544.227
Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида титана из тетраметоксититана и воды
Текст
Журнал прикладной химии
2013
Т. 86, № 3. - С. 353-359