-
Излучение плазмы хлористого водорода
Давлятшина, А. А., Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Излучение плазмы хлористого водорода, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2011, Т. 54, № 4. - С. 22-25
-
Сухое травление алюминия в хлоре
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Сухое травление алюминия в хлоре, [Текст]
ил.4
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2008, Т.51, № 11.- С. 17-21
-
Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре, [Текст]
ил.3
Химия и химическая технология. Известия вузов , 2008, Т.51, № 11.- С. 70-73
-
Взаимодействие плазмы смесей хлороводород - аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия
Дунаев, А. В., Пивоваренок, С. А., Мурин, Д. Б.
Взаимодействие плазмы смесей хлороводород - аргон, - хлор, - водород с арсенидом галлия, [Текст]
ил., табл.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2014, Т. 57, № 8. - С. 44-47
-
Электрофизические параметры и эмиссионные спектры плазмы тлеющего разряда в хлористом водороде
Пивоваренок, С. А., Дунаев, А. В., Мурин, Д. Б., Ефремов, А. М., Светцов, В. И.
Электрофизические параметры и эмиссионные спектры плазмы тлеющего разряда в хлористом водороде, [Текст]
ил.
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2011, Т. 54, № 9. - С. 48-52
-
Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии
Дунаев, А. В., Пивоварёнок, С. А. , Мурин, Д. Б., Пивоваренок, С. А.
Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 2. - С. 167-170
Дунаев_исследование
-
Интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме тлеющего разряда в смесях хлористого водорода с аргоном и гелием
Мурин, Д. Б., Ефремов, А. М., Светцов, В. И., Пивоваренок, С. А., Овцын, А. А., Шабадаров, С. С.
Интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме тлеющего разряда в смесях хлористого водорода с аргоном и гелием, [Текст]
Химия и химическая технология. Изв. вузов, 2013, Т. 56, № 4. - С. 29-32
