| Индекс УДК | 621.385.833.2 |
|
Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | арсенид галлия |
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 2. - С. 167-170 |
|
| Имя макрообъекта | Дунаев_исследование |
