| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/340969213 |
| Дата корректировки | 7:53:38 8 февраля 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
| Титул (звания) | доцент |
| Полное имя | Тульев, В. В. |
|
Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Мо Текст Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика |
|
| Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
| Ключевые слова |
осаждение покрытий покрытия элементный состав |
|
методы осаждения ионно-лучевые методы ионное ассистирование пленки |
|
|
Ташлыков, И. С. профессор БГПУ им. М. Танка Байрашук, С. М. ассистент БГПУ им. М. Танка |
|
|
Белорусский государственный технологический университет Кафедра физики |
|
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2010 Вып. XVIII. - С. 91-95 |
|
| Тип документа | b |
