| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
|
Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Мо Текст Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика |
|
| Ключевые слова |
осаждение покрытий покрытия элементный состав |
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2010 Вып. XVIII. - С. 91-95 |
