Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Мо
Тульев, Валентин Валентинович, Ташлыков, И. С., Байрашук, С. М.
Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Мо, [Текст], Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика, 2010, Вып. XVIII. - С. 91-95
