| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/465903126 |
| Дата корректировки | 8:45:09 13 октября 2014 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 0-60 |
| Индекс ISSN | 0203-7777 |
| Служба первич. каталог. | Леончук |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 661.002.64:621.382.049.77 |
| Полочн. индекс | 661 |
| Авторский знак | В 93 |
|
Дарда, Л. В. Л. В. Дарда |
|
|
Высокоочистные жидкофазные химикаты для производства интегральных схем Текст обзорная информация Министерство химической промышленности, Министерство по производству минеральных удобрений, Научно-исследоватльский институт технико-экономических исследований |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | НИИТЭХИМ |
| Дата издания оригинала | 1987 |
| Объем | 60, [2] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
|
Химическая промышленность и промышленность по производству минеральных удобрений Общеотраслевые вопросы вып. 6 (260) |
|
| Аннотация | В обзоре рассмотрены проблемы развития эссортимента и качества особо чистых веществ для микроэлектроники. |
|
жидкие химикаты жидкофазные химикаты особо чистые вещества производство интегральных схем спецификации жидких химикатов качество жидких химикатов очистка жидких химикатов микроэлектроника |
|
|
Варшавская, Н. З. Н. З. Варшавская Микулина, О. Г. О. Г. Микулина Кузнецова, Ю. С. Ю. С. Кузнецова |
|
|
Министерство химической промышленности Министерство по производству минеральных удобрений Научно-исследоватльский институт технико-экономических исследований |
|
| Тип документа | s |
