Высокоочистные жидкофазные химикаты для производства интегральных схем
Дарда, Л. В., Варшавская, Н. З., Микулина, О. Г., Кузнецова, Ю. С.
Высокоочистные жидкофазные химикаты для производства интегральных схем, [Текст], обзорная информация, Министерство химической промышленности, Министерство по производству минеральных удобрений, Научно-исследоватльский институт технико-экономических исследований
Москва :
НИИТЭХИМ ,
1987 .-
60, [2] с. .-
ил., табл.