| Индекс УДК | 661.002.64:621.382.049.77 |
|
Высокоочистные жидкофазные химикаты для производства интегральных схем Текст обзорная информация Министерство химической промышленности, Министерство по производству минеральных удобрений, Научно-исследоватльский институт технико-экономических исследований |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | НИИТЭХИМ |
| Дата издания оригинала | 1987 |
| Объем | 60, [2] с. |
