Поиск

Исследование влияния параметров униполярного импульсного питания на разрядные характеристики магнетронной распылительной системы

Авторы: Нестерчик, Р. И. Завадский, С. М. Доан, Х. Т.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/721583534
Дата корректировки 14:03:43 18 ноября 2022 г.
ISBN 978-985-6477-57-0
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Автор Нестерчик, Р. И.
Исследование влияния параметров униполярного импульсного питания на разрядные характеристики магнетронной распылительной системы
Текст
Место издания Гомель
Издательство ИММС НАН Беларуси
Дата издания оригинала 2022
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 1 назв.
Ключевые слова униполярное импульсное питание
импульсное питание
магнетронные распылительные системы
композитные пленки
магнетроны
Другие авторы Завадский, С. М.
Доан, Х. Т.
Организация/ юрисдикция Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Полимерные композиты и трибология (ПОЛИКОМТРИБ - 2022)
Гомель : ИММС НАН Беларуси, 2022
С. 150
RU/IS/BASE/720108858
Тип документа b