Исследование влияния параметров униполярного импульсного питания на разрядные характеристики магнетронной распылительной системы
Нестерчик, Р. И., Завадский, С. М., Доан, Х. Т.
Исследование влияния параметров униполярного импульсного питания на разрядные характеристики магнетронной распылительной системы, [Текст]
Гомель :
ИММС НАН Беларуси ,
2022 .-
ил.
Полимерные композиты и трибология (ПОЛИКОМТРИБ - 2022), Гомель : ИММС НАН Беларуси, 2022, С. 150, RU/IS/BASE/720108858
