| Автор | Нестерчик, Р. И. |
|
Исследование влияния параметров униполярного импульсного питания на разрядные характеристики магнетронной распылительной системы Текст |
|
| Место издания | Гомель |
| Издательство | ИММС НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | униполярное импульсное питание |
| Другие авторы | Завадский, С. М. |
|
Полимерные композиты и трибология (ПОЛИКОМТРИБ - 2022) Гомель : ИММС НАН Беларуси, 2022 С. 150 RU/IS/BASE/720108858 |
