| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/708082491 |
| Дата корректировки | 15:16:28 13 июня 2022 г. |
| ISBN | 978-985-530-724-3 |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК |
533.9.924+621.793 621.793 |
| Автор | Нестерчик, Р. И. |
|
Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова | нитридные покрытия |
|
пленки нитрида титана-циркония нитрид титана-циркония реактивное магнетронное распыление мозаичная мишень |
|
| Другие авторы | Голосов, Д. А. |
|
То, К. Т. Бурдовицин, В. А. Завадский, С. М. Мельников, С. Н. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники | |
|
Инновационные материалы и технологии - 2022 Минск : БГТУ, 2022 С. 390-393 RU/IS/BASE/706791907 |
|
| Тип документа | b |
