| Индекс УДК |
533.9.924+621.793 621.793 |
| Автор | Нестерчик, Р. И. |
|
Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | нитридные покрытия |
| Другие авторы | Голосов, Д. А. |
|
Инновационные материалы и технологии - 2022 Минск : БГТУ, 2022 С. 390-393 RU/IS/BASE/706791907 |
