Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени
Нестерчик, Р. И., Голосов, Д. А., То, К. Т., Бурдовицин, В. А., Завадский, С. М., Мельников, С. Н.
Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2022 .-
ил.
Инновационные материалы и технологии - 2022, Минск : БГТУ, 2022, С. 390-393, RU/IS/BASE/706791907
