| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/634397637 |
| Дата корректировки | 13:40:25 7 февраля 2020 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.23.234:621.793.184 |
| Автор | Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Полное имя | И. С. Ташлыков |
|
Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | МГУ им. А. А. Кулешова |
| Дата издания оригинала | 2007 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 4 назв. |
| Ключевые слова | металлсодержащие покрытия |
|
осаждение покрытий ионно-ассистированное нанесение кремний модифицирование кремния повреждение структуры радиационные дефекты |
|
| Другие авторы | Михалкович, О. М. |
| Полное имя | О. М. Михалкович |
|
Оптика неоднородных структур - 2007 Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007 С. 3-6 RU/IS/BASE/627559569 978-985-480-428-6 |
|
| Тип документа | b |
