Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС
Ташлыков, Игорь Серафимович, Михалкович, О. М.
Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС, [Текст]
Могилев :
МГУ им. А. А. Кулешова ,
2007 .-
ил.
Оптика неоднородных структур - 2007, Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007, С. 3-6, RU/IS/BASE/627559569, 978-985-480-428-6