| Индекс УДК | 539.23.234:621.793.184 |
| Автор | Ташлыков, Игорь Серафимович |
|
Повреждение структуры кремния при нанесении тонких пленок методом ИАНПУС Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | МГУ им. А. А. Кулешова |
| Дата издания оригинала | 2007 |
| Ключевые слова | металлсодержащие покрытия |
| Другие авторы | Михалкович, О. М. |
|
Оптика неоднородных структур - 2007 Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007 С. 3-6 RU/IS/BASE/627559569 978-985-480-428-6 |
