Поиск

Новые достижения в области химии процессов получения полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья

Авторы: Поляченок, О. Г. Брановицкая, Н. В. Васюков, А. В. Поляченок, Л. Д.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/623411389
Дата корректировки 9:49:49 3 октября 2019 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Яновская
Код языка издания rus
Индекс УДК 666.652:546.28
Автор Поляченок, О. Г.
Титул (звания) зав. кафедрой, д-р хим. наук, профессор
Полное имя О. Г. Поляченок
Новые достижения в области химии процессов получения полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья
Текст
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2019
Библиография Библиогр.: 5 назв.
Ключевые слова полупроводниковые материалы
кремний полупроводниковый
полупроводниковый кремний
фторсодержащее сырье
гексафторосиликат натрия
фторид натрия
тетрафторсилан
Другие авторы Брановицкая, Н. В.
Титул (звание) ст. преп.
Полное имя Н. В. Брановицкая
Васюков, А. В.
канд. техн. наук, доцент
А. В. Васюков
Поляченок, Л. Д.
канд. хим. наук, доцент
Л. Д. Поляченок
Организация/ юрисдикция Могилевский государственный университет продовольствия
Полоцкий государственный университет
Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова
Технологические тренды и перспективные точки роста научно-технологического комплекса Союзного государства России и Беларуси
Минск : БГТУ, 2019
С. 237-241
RU/IS/BASE/619260152
978-985-530-771-7
Тип документа b