| Индекс УДК | 666.652:546.28 |
| Автор | Поляченок, О. Г. |
|
Новые достижения в области химии процессов получения полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Ключевые слова | полупроводниковые материалы |
| Другие авторы | Брановицкая, Н. В. |
|
Технологические тренды и перспективные точки роста научно-технологического комплекса Союзного государства России и Беларуси Минск : БГТУ, 2019 С. 237-241 RU/IS/BASE/619260152 978-985-530-771-7 |
