Новые достижения в области химии процессов получения полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья
Поляченок, О. Г., Брановицкая, Н. В., Васюков, А. В., Поляченок, Л. Д.
Новые достижения в области химии процессов получения полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2019 .-
Технологические тренды и перспективные точки роста научно-технологического комплекса Союзного государства России и Беларуси, Минск : БГТУ, 2019, С. 237-241, RU/IS/BASE/619260152, 978-985-530-771-7
