| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/604058541 |
| Дата корректировки | 9:04:07 4 мая 2023 г. |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.234:546.261 |
| Автор | Солдатенко, С. А. |
| Полное имя | С. А. Солдатенко |
|
Энергии активации процессов роста субзерен и развития морфологии при синтез пленок B-SiC на (111)Si в атмосфере метана Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2018 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 23 назв. |
| Ключевые слова | импульсная фотонная обработка |
|
быстрый термический отжиг карбид кремния ориентация пленок субструктура пленок морфология поверхности энергия активации |
|
| Другие авторы | Кузьмина, В. О. |
| Полное имя | В. О. Кузьмина |
|
Тураева, Т. Л. Т. Л. Тураева |
|
| Организация/ юрисдикция | Военно-воздушная инженерная академия им. проф. Н. Е. Жуковского |
| Воронежский государственный технический университет | |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2018 Кн. 1. - С. 176-187 RU/IS/BASE/601031192 978-985-6441-56-4 (кн. 1) |
|
| Тип документа | b |
