| Индекс УДК | 539.234:546.261 |
| Автор | Солдатенко, С. А. |
|
Энергии активации процессов роста субзерен и развития морфологии при синтез пленок B-SiC на (111)Si в атмосфере метана Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2018 |
| Ключевые слова | импульсная фотонная обработка |
| Другие авторы | Кузьмина, В. О. |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2018 Кн. 1. - С. 176-187 RU/IS/BASE/601031192 978-985-6441-56-4 (кн. 1) |
