Энергии активации процессов роста субзерен и развития морфологии при синтез пленок B-SiC на (111)Si в атмосфере метана
Солдатенко, С. А., Кузьмина, В. О., Тураева, Т. Л.
Энергии активации процессов роста субзерен и развития морфологии при синтез пленок B-SiC на (111)Si в атмосфере метана, [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2018 .-
ил., табл.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2018, Кн. 1. - С. 176-187, RU/IS/BASE/601031192, 978-985-6441-56-4 (кн. 1)
