| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/545472683 |
| Дата корректировки | 7:54:37 17 апреля 2017 г. |
| Вид содержания и средства доступа | 0-47 |
| Служба первич. каталог. |
Шостак БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.828 |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Т 57 |
|
Борисенко, А. И. Борисенко, А. И. |
|
|
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике Текст Академия наук СССР, Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова |
|
| Место издания | Ленинград |
| Издательство | Наука, Ленинградское отделение |
| Дата издания оригинала | 1972 |
| Объем | 112, [2] c. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Аннотация | Рассмотрены способы получения тонких неорганических пленок, применяемых в микроэлектронике для создания активных и пассивных элементов интегральных схем, а также в качестве пассивирующих и защитных покрытий, стекловидных пленок. |
| Ключевые слова | тонкие неорганические пленки |
|
микроэлектроника тонкие стекловидные пленки элементы интегральных схем пассивирующие покрытия защитные покрытия |
|
|
Новиков, В. В. Новиков, В. В. Приходько, Н. Е. Приходько, Н. Е. Митникова, И. М. Митникова, И. М. Чепик, Л. Ф. Чепик, Л. Ф. |
|
| Организация/ юрисдикция | Академия наук СССР |
| Другие уровни | Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова |
| Тип документа | m |
