| Индекс УДК | 621.828 |
|
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике Текст Академия наук СССР, Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова |
|
| Место издания | Ленинград |
| Издательство | Наука, Ленинградское отделение |
| Дата издания оригинала | 1972 |
| Объем | 112, [2] c. |
| Аннотация | Рассмотрены способы получения тонких неорганических пленок, применяемых в микроэлектронике для создания активных и пассивных элементов интегральных схем, а также в качестве пассивирующих и защитных покрытий, стекловидных пленок. |
| Ключевые слова | тонкие неорганические пленки |
