Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
Борисенко, А. И., Новиков, В. В., Приходько, Н. Е., Митникова, И. М., Чепик, Л. Ф.
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике, [Текст], Академия наук СССР, Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова
Ленинград :
Наука, Ленинградское отделение ,
1972 .-
112, [2] c. .-
ил., табл.
