Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне
Волобуев, Влас Сергеевич, Олешкевич, А. Н.
Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне, [Электронный ресурс], БГТУ ; БГУ
Минск :
БГТУ ,
2014 .-
ил.
Технология органических веществ, Минск : БГТУ, 2014, С. 48, RU/IS/BASE/452344778