| Индекс УДК | 537.5 |
| Автор | Волобуев, Влас Сергеевич |
|
Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне Электронный ресурс БГТУ ; БГУ |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
ионная имплантация СВЧ резанаторы фоторезистивные нанокомпозиты |
| Другие авторы | Олешкевич, А. Н. |
|
Технология органических веществ Минск : БГТУ, 2014 С. 48 RU/IS/BASE/452344778 |
