Состав приповерхностных слоев структур TI/SI и CO/SI, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
Тульев, Валентин Валентинович
Состав приповерхностных слоев структур TI/SI и CO/SI, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2022 .-
ил., табл.
RU/IS/BASE/703591352, Информационные технологии, Минск : БГТУ, 2022, 978-985-530-997-1, С. 208-212