| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
|
Состав приповерхностных слоев структур TI/SI и CO/SI, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | ионно-ассистируемое осаждение |
|
RU/IS/BASE/703591352 Информационные технологии Минск : БГТУ, 2022 978-985-530-997-1 С. 208-212 |
