|
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок Текст отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ ; руководитель Н. Я. Шишкин - ГР20012945 |
|
|
Минск 2004 |
|
| 32 с |
