Поиск

Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур

Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/339781695
Дата корректировки 12:35:12 21 мая 2014 г.
Номер государственной регистрации 20083019
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 546.814+539.23
Полочн. индекс 6960н.о.
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур
Текст
отчет о НИР (промежуточный)
Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. Н. Я. Шишкин ; исполн.: Н. Я. Шишкин, А. А. Комаров, Е. В. Мирончик
Основные сведения об издании ГБ 26-113 ; ГР 20083019
Дополнительные сведения об издании Инв. 6960н.о.
Место издания Минск
Дата издания оригинала 2009
Объем 36, [3] с.
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил
Ключевые слова микроструктуры алюмооксидные
гетероструктуры
алюминий оксид
титан диоксид
нанотрубки
анодирование
наночастицы
кадмий сульфид
свинец сульфид
фотокатализатор
полупроводник
пленка оксидная
тонкопленочная технология
модифицирование
Тип документа m