| Индекс УДК | 546.814+539.23 |
|
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур Текст отчет о НИР (промежуточный) Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. Н. Я. Шишкин ; исполн.: Н. Я. Шишкин, А. А. Комаров, Е. В. Мирончик |
|
| Основные сведения об издании | ГБ 26-113 ; ГР 20083019 |
| Дополнительные сведения об издании | Инв. 6960н.о. |
| Место издания | Минск |
| Дата издания | 2009 |
| Объем | 36, [3] с. |
| Ключевые слова | микроструктуры алюмооксидные |
