| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/454154112 |
| Дата корректировки | 9:55:12 23 мая 2014 г. |
| 539.234 | |
|
5391н.о. 5391н.о. |
|
|
001 2 2-04 |
|
|
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок Отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945 |
|
|
Минск 2002 |
|
| 30с | |
| 157 |
