|
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок Отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945 |
|
|
Минск 2002 |
|
| 30с |
