| Индекс УДК | 621.38:620.3(043.3) |
|
Исследование и разработка процесса плазмостимулированного химического осаждения углеродных наноструктур из монооксида углерода Текст автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
| Место издания | Москва |
| Дата издания оригинала | 2015 |
| Объем | 22 с. |
| Ключевые слова | плазмостимулированное химическое осаждение |
