Исследование и разработка процесса плазмостимулированного химического осаждения углеродных наноструктур из монооксида углерода
Дубков, Сергей Владимирович
Исследование и разработка процесса плазмостимулированного химического осаждения углеродных наноструктур из монооксида углерода, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06, [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
Москва :
2015 .-
22 с. .-
ил.