| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/477660835 |
| Дата корректировки | 10:08:08 23 февраля 2015 г. |
| Цена, тираж | б. ц. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.772.1(043.3) |
| Лазаренко, Петр Иванович | |
|
Технология получения и электрофизические свойства тонких пленок материалов системы Ge-Sb-Te, предназначенных для устройств фазовой памяти Текст автореф. дис. ... канд. технических наук : 05.27.06 [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
| Место издания | Москва |
| Дата издания | 2014 |
| Объем | 28 с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
|
технология получения тонких пленок электрофизические свойства тонких пленок устройства фазовой памяти цифровые устройства фазовая память |
|
| Организация/ юрисдикция | Национальный исследовательский университет "МИЭТ" |
