| Индекс УДК | 621.382.049.772.1(043.3) |
|
Технология получения и электрофизические свойства тонких пленок материалов системы Ge-Sb-Te, предназначенных для устройств фазовой памяти Текст автореф. дис. ... канд. технических наук : 05.27.06 [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"] |
|
| Место издания | Москва |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Объем | 28 с. |
| Ключевые слова | тонкие пленки |
