| Индекс УДК | 544.654.2:621.315.61(043.3) |
|
Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы Текст авторф. дис. ... канд. технических наук : 05.27.06 Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Дата издания оригинала | 2011 |
| Объем | 18 с. |
| Ключевые слова | электрохимическое осаждение |
