Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы
Уваров, Андрей Анатольевич
Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы, [Текст], авторф. дис. ... канд. технических наук : 05.27.06, Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Санкт-Петербург :
2011 .-
18 с. .-
ил
