| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/603304166 |
| Дата корректировки | 15:37:12 11 апреля 2025 г. |
| Вид содержания и средства доступа | б. ц. |
| Служба первич. каталог. |
BY-HM0026 БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Каталогизатор | Голубева |
| Индекс УДК | 661.382:681.542(043.3) |
|
Гостик, Александр Леонидович А. Л. Гостик |
|
|
Разработка автоматических преобразователей и регуляторов концентрации компонентов парогазовых и газовых смесей для эпитаксиального и диффузионного оборудования микроэлектроники Текст автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 Государственный комитет СССР по народному образованию, Московский институт электронной техники |
|
| Место издания | Москва |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 22 с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Примечание | Служебное пользование № 57 |
|
автоматические преобразователи регуляторы концентрации смесей парогазовые смеси газовые смеси эпитаксиальное оборудование микроэлектроники диффузионное оборудование микроэлектроники микроэлектроника управление процессами |
|
| Организация/ юрисдикция | Государственный комитет СССР по народному образованию |
| Московский институт электронной техники | |
| Тип документа | m |
