| Индекс УДК | 661.382:681.542(043.3) |
|
Разработка автоматических преобразователей и регуляторов концентрации компонентов парогазовых и газовых смесей для эпитаксиального и диффузионного оборудования микроэлектроники Текст автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 Государственный комитет СССР по народному образованию, Московский институт электронной техники |
|
| Место издания | Москва |
| Дата издания оригинала | 1988 |
| Объем | 22 с. |
| Примечание | Служебное пользование № 57 |
