Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Авторефераты диссертаций и диссертации
3. Ключевые слова
4. фоторезистивная пленка

Авторефераты диссертаций и диссертации. Ключевые слова - фоторезистивная пленка

• Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок
  Гранько, Сергей Владимирович
  
  Локальное ионное легирование в производстве интегральных схем с использованием полимерных масок, Текст, автореф. дис. ... канд. техн. наук : 001.04.07 ; 05.27.01, Белорусский государственный университет Минск, 2004 23 с.